近日，2024年中国仪器仪表学会公布了科学技术奖获奖名单，我校教师罗飞、韩亚军、赵涛完成的“智能高速近紫外接近式光刻机关键技术及应用”项目获得科技进步二等奖。

据悉，中国仪器仪表学会科学技术奖是经国家科技部批准，在国家科技奖励主管部门注册，经国家科学技术奖励工作办公室颁证，由中国仪器仪表学会设立的面向全国仪器仪表领域的综合性奖项。本年度共评选出一等奖23项，二等奖53项，三等奖21项；创新团队2个，青年科技奖8人；国际科学技术合作奖1人。

近年来，该项目团队致力于光刻机机电控制多轴高速联动机构设计及反向间隙高精度补偿算法等关键技术应用研究并取得积极进展，将助力赋能该项技术国产化进程。